Strukturuntersuchungen an Cr-Co-Schichten mittels Röntgenbeugung
5.2. Abhängigkeit der Struktur der Co-Schichten von der Ausbildung eines Beschichtungsringes bei Substratheizung
Die Orientierungsverteilung der Schicht außerhalb des Beschichtungsringes ist vom
Typ I, das heißt, die Schicht weist eine sehr gute Textur auf.
Innerhalb dieses Ringes zeigt die Schicht eine polykristalline Struktur, was auch mit einer
relativ geringen Intensität des 10.1-Reflexes und kleinem Hc-Wert
korreliert.
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